本公司提供的透射電鏡力電原位系統(tǒng)是通過MEMS芯片在原位樣品臺(tái)內(nèi)構(gòu)建力、電復(fù)合多場(chǎng)自動(dòng)控制及反饋測(cè)量系統(tǒng)，結(jié)合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式，實(shí)現(xiàn)從納米層面實(shí)時(shí)、動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)樣品在真空環(huán)境下隨電場(chǎng)、施加力變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)、相變、元素價(jià)態(tài)、微觀應(yīng)力以及表/界面處的結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
透射電鏡力電原位系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)：
1、力學(xué)性能
（1）高精度壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，納米級(jí)別精度數(shù)字化精確定位。
（2）可進(jìn)行壓縮、拉伸、彎曲等微觀力學(xué)性能測(cè)試。
（3）nN級(jí)力學(xué)測(cè)量噪音。
（4）具備連續(xù)的載荷-位移-時(shí)間數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)自動(dòng)收集功能。
（5）具備恒定載荷、恒定位移、循環(huán)加載控制功能，適用于材料的蠕變特性、應(yīng)力松弛、疲勞性能研究。
2、優(yōu)異的電學(xué)性能
（1）芯片表面的保護(hù)性涂層保證電學(xué)測(cè)量的低噪音和精確性，電流測(cè)量精度可達(dá)皮安級(jí)。
（2）MEMS微加工特殊設(shè)計(jì)，電場(chǎng)和力學(xué)加載同時(shí)進(jìn)行，相互獨(dú)立控制。
3、智能化軟件
（1）人機(jī)分離，軟件遠(yuǎn)程控制納米探針運(yùn)動(dòng)。
（2）自動(dòng)測(cè)量載荷-位移數(shù)據(jù)。
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