樣品臺作為一種常用的實(shí)驗(yàn)檢測設(shè)備，常常需要對樣品進(jìn)行加熱，現(xiàn)有的樣品臺在加熱時，往往是在底部加熱，或者采用水浴加熱，而這些加熱方式都是傳導(dǎo)加熱，熱量需要從邊沿向中間傳遞，這樣存在加熱不均勻，而為了解決加熱均勻性的問題，一般會在樣品臺上增設(shè)攪拌設(shè)備或者在底部做磁攪拌，增設(shè)機(jī)械攪拌在需要攪拌時需要調(diào)整攪拌槳的位置在攪拌完成后又需要挪走，操作麻煩。原位TEM力學(xué)加熱樣品臺可解決現(xiàn)有的樣品臺加熱設(shè)備加熱不均勻，操作不方便的問題。
原位TEM力學(xué)加熱樣品臺上的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))力學(xué)芯片可外接力學(xué)控制器，在透射電鏡內(nèi)可動態(tài)實(shí)時觀察樣品材料微結(jié)構(gòu)的變化。通過實(shí)時獲取的載荷、形變等數(shù)據(jù)，以及透射電子顯微鏡所提供的材料微結(jié)構(gòu)變化數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)了定量分析材料的微觀力學(xué)性質(zhì)、相變行為、取向變化、裂紋形成和擴(kuò)展、材料疲勞和斷裂機(jī)制、加速蠕變、分層、形成滑移面以及脫落等現(xiàn)象。該原位力學(xué)系統(tǒng)穩(wěn)定性好，經(jīng)過科學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)漂移率最小化。
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